Hi Fabio Coccetti,
> Does anybody know where I can find a good and complete exposition about all
the
> micromachining techniques (manifacturing processes: masking, etching, and
> whatever) in use up now ?
>
> Thanks a lot for your time
>
> Sincerely, FABIO
Da kann ich Dir "Grundlagen der Mikrosystemtechnik", G. Gerlach und
W. Dötzel empfehlen, erschienen im Hanser-Verlag.
Gruss
Gerhard
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Gerhard Lammel
Institut de microsystemes
Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL)
CH-1015 Lausanne, Switzerland
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